用 Littrow 衍射仪掌控增强现实（AR）波导光栅质量
在衍射波导的制造过程中，光栅质量意味着测量衍射光栅轮廓的所有关键尺寸。这包括光栅周期（节距）以及光栅区域在波导布局上的相对方向，这些因素对显示单元的功能有着显著影响。
对于大多数增强现实（AR）波导设计而言，光栅周期的公差需控制在几十皮米的范围内，而光栅方向的公差则需控制在几十弧秒的范围内。尽管扫描电子显微镜（SEM）和原子力显微镜（AFM）等技术具有重要价值，但在识别和量化AR行业所需的这些基本光栅质量属性方面仍存在局限性。
接下来，让我们深入了解满足上述需求的OptoFidelity 的 Littrow 衍射仪 WG-GAT 系统。
周期和方位测量
对于增强现实（AR）显示器而言，关键参数是衍射光的方向，它仅受光栅周期和方向的影响，而不受光栅轮廓高度偏差等因素的影响。为了表征这些特性，仅需使用单色光源测量单一衍射级的衍射角即可，该方法适用于透射光栅和反射光栅。
为了实现这一技术，我们需要的是一个光源、一个探测器，以及一种测量样品、光源和探测器之间角度的方法。此时，利特罗衍射仪（Littrow Diffractometers）便派上了用场。因为光在波导中传播了相对较长的距离，同时经历了多次全内反射，因此光栅周期容差要求非常严格(以皮米为量级)。此外，为了确保光在波导内按正确方向传播，我们需要对光栅的相对方向有高度的确定性。
技术所需的配备
为了解决上述问题，我们采用Littrow配置。在这种配置中，光栅样品被旋转，使得所需的衍射顺序被反射回光源。随后可以使用分束器将衍射光束引导至探测器上。利用Littrow方程，在已知样品角度、光源波长和衍射顺序的情况下，可以计算出光栅周期。此外，通过引入另一个轴或进行样品旋转，可以在同一次测量中确定光栅线的方向。
为了达到皮米和弧秒尺度的性能，在计算环境空气条件对测量的影响时，必须消除各种测量不确定性。
OptoFidelity 能够满足上述严苛的要求，并满足我们客户所需，具备提供完整光栅测试系统的专业知识储备。我们的 Littrow 衍射仪 WG-GAT 具备所需的高周期和取向测量精度。
